化學(xué)工藝中多級羅茨真空泵的應(yīng)用

化學(xué)工藝的持續(xù)發(fā)展，特別是在半導(dǎo)體和太陽行業(yè)中，對所用羅茨真空泵不斷地提出新的要求?；诙嗉壛_茨泵的可靠技術(shù)，雅之雷德機電科技為這些行業(yè)領(lǐng)域中的苛刻工藝提供完美的解決方案。與先前泵解決方案相比，過程壓力下的氣體吞吐量、粒子耐受性和耐冷凝性已顯著提高。

與用于一般工藝系列泵一樣，用于苛刻工藝泵配備了溫度控制和惰性氣體沖洗系統(tǒng)。但是，用于優(yōu)化工藝調(diào)節(jié)的參數(shù)范圍比用于一般工藝系列泵更廣。

該泵系列是采用了該系列的另外三個型號并輔以羅茨泵用于過程壓力范圍內(nèi)提高了的抽速和氣體吞吐量。由于使用了特殊材料，這些泵的腐蝕性氣體設(shè)備使其還可使用強氧化劑，如 NF3。該泵廣泛的溫度范圍使其能夠適應(yīng)各種不同的工藝，如低溫下的鎢沉積或高溫下的氮化物沉積。高效的電機產(chǎn)生低壓力下的能源節(jié)約，并因其高扭矩，在泵停機后提供良好的啟動性能。

得益于它們相同的接口和相同的介質(zhì)連接，用于苛刻工藝系列型號可與用于一般工藝系列泵理想兼容。這意味著，如果現(xiàn)有生產(chǎn)設(shè)備上發(fā)生工藝改變，通過更換泵，使用最小的安裝工作就可獲得優(yōu)化的泵解決方案。

使用第三級羅茨輔助苛刻工藝泵型號，可提供緊湊、極其強大的泵站，具有最大抽速，適合于 CVD 工藝。在空運行流程泵上采用變頻控制的羅茨泵，羅茨泵在其本身的框架內(nèi)具有額定抽速 4,500 m3 · h-1。由于模塊化結(jié)構(gòu)，安裝很容易，且泵站中的各個泵可單獨取出，并在維修工作進行的情況下進行保養(yǎng)。進氣側(cè)的羅茨泵變頻器允許在廣泛的氣體吞吐量范圍對過程參數(shù)進行調(diào)整，并允許各種不同的過程氣體。

雅之雷德機電科技不斷監(jiān)測行業(yè)各個領(lǐng)域中工藝的動態(tài)發(fā)展，并在未來將繼續(xù)提供優(yōu)化的泵解決方案以滿足這些需求。

多級羅茨泵的優(yōu)勢包括：

通過調(diào)節(jié)溫度、凈化氣體吞吐量和轉(zhuǎn)速對相關(guān)真空工藝進行理想的調(diào)節(jié)

在氣體置換區(qū)域沒有潤滑劑

無工作液處理問題

高可靠性和系統(tǒng)正常運行時間

長維修間隔、低能耗和冷卻水與沖洗氣體介質(zhì)消耗低，因此具有較低的擁有成本

占用空間小，在潔凈室和泵級別中具有良好的集成性和節(jié)約性

豐富的控制選項，本地或遠程控制，集成在一個監(jiān)控網(wǎng)絡(luò)中

最小泄漏率

在腐蝕性工藝中是渦輪分子泵和羅茨真空泵理想的前級泵

認證符合 UL/CSA 和 SEMI S2 要求